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日本的出口限制不会影响韩国芯片制造商的半导体生产

鏃ユ湡;2019-07-10  鏉ユ簮锛毼粗  浣滆咃細admin

  表示,“我们发现日本政府对抗蚀剂的限制只限于EUV抗蚀剂。”EUV抗蚀剂只能由JSR和Shin-Etsu等日本

  “DRAM中使用的主抗蚀剂用于氟化氩(ArF)浸没曝光设备,3D NAND工艺中常用的抗蚀剂用于KrF浸没曝光设备,”他说。“ArF的波长为193 nm,KrF为248 nm。日本政府决定对波长低于193nm的光进行优化的抗蚀剂调节。因此,这两个项目不受出口限制。”

  “三种产品的出口许可证制度——氟聚酰亚胺,抗蚀剂和氟化氢,将对韩国公司产生有限的影响,”他说,“相反,人们越来越担心日本企业受到的损害。”

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